1、潔凈廠房用凈化空調系統(tǒng)通常不能像一般空調系統(tǒng)那樣按區(qū)域進行劃分,也不能夠簡單地按空氣潔凈度等級劃分,通常有如下的劃分原則。
(1)凈化空調系統(tǒng)應與一般空調系統(tǒng)、兩級過濾送風系統(tǒng)分開設置。
(2)運行班次、操作運行規(guī)律或使用時間不同的凈化空調系統(tǒng)應分開設置。
(3)產(chǎn)品生產(chǎn)過程中散發(fā)有毒、有害易燃易爆物質或氣體的工序或房間或會產(chǎn)生交叉污染等的房間,應分別設置凈化空調系統(tǒng)。
(4)溫度、濕度的控制要求或精度要求差別較大者分別設置。
(5)單向流潔凈室與非單向流潔凈室的凈化空調系統(tǒng)要分別設置。
(6)凈化空調系統(tǒng)的劃分宜照顧送風、回風和排風管道的布置,盡量合理布置、使用方便,力求減少各種風管的交叉重疊;必要時,對系統(tǒng)中的個別房間可單獨設溫度、濕度調節(jié)裝置。
2、集中式凈化空調系統(tǒng)
是將凈化空調處理設備集中設在空調機房,送風、回風均通過風管與潔凈室相通。集中式凈化空調系統(tǒng)又可分為單風機系統(tǒng)、雙風機系統(tǒng)、風機串聯(lián)和風機并統(tǒng)等。各類系統(tǒng)均各有特點和*的適用場所,應根據(jù)具體工程項目特點進行運用,比如風機串聯(lián)凈化空調系統(tǒng),設有溫濕度處理風機、凈化循環(huán)總風機,對于循環(huán)風量較大系統(tǒng),無需將循環(huán)風回至空調機組進行熱、濕處理,為降低造價,運行能耗,可將空調與凈化分開,熱、濕處理風量小采用小風機,凈化處理風量大采用大風機,并將二臺風機串聯(lián)使用。
3、分散式凈化空調系統(tǒng)
這種系統(tǒng)通常是在一般空調環(huán)境或較低級別的凈化生產(chǎn)環(huán)境內設置局部凈化設施或凈化設備或凈化空調設備的凈化空調系統(tǒng)總稱,,這種凈化空調系統(tǒng)類型很多。
4、幾種凈化空調系統(tǒng)送風方式介紹
隨著電子科學技術的發(fā)展,尤其是半導體集成電路制造技術的迅猛發(fā)展,對潔凈生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度要求越來越嚴格,現(xiàn)今超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)要求控制潔凈室空氣中粒徑達50mm、微粒濃度達ISO1級并對化學分子污染物進行控制,因此在集成電路芯片工廠潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)發(fā)生了很大變化,目前主要是有隧道式送風方式、風機過濾單元/模塊式風機單元送風方式、集中送風方式和開放式潔凈室+微環(huán)境的送風方式等。